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QRUI-2系列探針臺(tái)：一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺(tái)。該系列探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門(mén)設(shè)計(jì) ，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。顯微鏡平移臺(tái)可進(jìn)行X-Y-Z方向精密位移調(diào)節(jié) ，顯微鏡放大倍率高 ，操作方便。

ETCP-2000低溫探針臺(tái) 真空探針臺(tái)，溫控范圍：80K~573K，大樣品尺寸：4英寸，高性?xún)r(jià)比。

EPS-1000探針臺(tái) 的手動(dòng)探針臺(tái)，有鎖針設(shè)計(jì)防止回針，臺(tái)面快速升降方便晶圓測(cè)試，適合科研及微電子器件的失效分析。