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QRUI-1A系列探針臺簡介：
是一款在非真空條件下實現(xiàn)高低溫環(huán)境的測試探針臺。該產(chǎn)品采用氣冷制冷 ，自動控溫 ，設備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽無線電磁干擾 ，另外一方面也可以保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜。該產(chǎn)品多數(shù)用于相關單位實驗室。
QRUI-1A系列探針臺產(chǎn)品優(yōu)勢：
可搭配高低溫溫控系統(tǒng),溫度范圍為-60-300℃
可實現(xiàn)半自動測試
微腔屏蔽
技術參數(shù) | 產(chǎn)品型號 | QRUI-1A-150 | QRUI-1A-200 | QRUI-1A-300 |
探針臺 本體 | 電壓電流（可定制） | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | |||
卡盤大小 | 6" ,360 度轉(zhuǎn)動, 可微調(diào) | 8" ，360 度轉(zhuǎn)動 ， 可微調(diào) | 12" ，360 度轉(zhuǎn)動 ，可微調(diào) | |
卡盤行程和精度 | 6"*6" ，精度 1um， | 8"*8" ，精度 1um， | 12"*12 ，精度 1um | |
卡盤氣浮移動范圍 | 360 度快速移動，便于快速定位 ，提高測試效率 | |||
卡盤拉出功能 | 卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80% ，便于更換樣品 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片或者射頻器件) | |||
背電極測試功能 | 具備 樣品臺電學獨立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | |||
腔體 | 帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜 | |||
溫控 | 溫度范圍 | -60-300℃ | -60-300℃ | -60-300℃ |
溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | |||
類型 | 同軸/三同軸/高壓 | |||
低控溫速率 | ±0.1°C /小時 | |||
制冷方式 | 氣冷 (自動控溫) | |||
針座平 臺 | 材質(zhì) | U 型平臺 ， 鍍鎳 ， 與探針座之間具備更強吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | 最多可放置8個探針座 | |
升降平臺 | 二階抬桿一次性6mm，接觸，分離；微調(diào)行程為50mm，分辨率為1um | |||
顯示系 統(tǒng) | 顯微鏡成像系統(tǒng) | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統(tǒng) | ||
倍率范圍 | 15X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結(jié)構(gòu) ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500 萬像素 ， 幀率 60fps ，帶拍照、 錄像、 測量功能 | |||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | |||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
詳細配置方案可討論后給出
